La macchina di apertura chimica del laser PL201 del testimone di apertura di NSC IC è dotata di un laser a fibra. Rispetto ai laser tradizionali a stato solido, la macchina di apertura laser / chimico ha costi diretti inferiori e una durata più lunga.

Dalla passivazione alla pellicola intercalare

La portata del gas, le condizioni di vuoto e la corrispondenza RF sono controllate automaticamente dal sistema.Il sistema è facile da usare, basta selezionare la ricetta e premere il pulsante di avvio per avviare l'incisione.

Il generatore RF, il sistema di controllo del vuoto e l'unità di controllo della temperatura sono stati aggiornati per migliorare la stabilità e la ripetibilità dell'incisione.

ES403 può incidere wafer fino a 8 pollici e piccoli dispositivi come pacchetti IC che utilizzano adattatori opzionali.ES403 fornisce un'incisione stabile ed efficiente e il suo sistema di vuoto ad alte prestazioni è controllato da una pompa molecolare turbo, un regolatore di flusso di massa e una valvola a farfalla.